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化學(xué)過濾器
化學(xué)過濾器作為具有高生產(chǎn)環(huán)境要求的潔凈室工程的重要組成部分,主要用于吸附、過濾空氣中的氣態(tài)分子級(jí)污染物(Airborne Molecular Contamination)。目前主要應(yīng)用于泛半導(dǎo)體行業(yè)的空氣凈化系統(tǒng)中,包括集成電路、AMOLED顯示面板的潔凈車間以及半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝設(shè)備內(nèi)的空氣凈化等場景。
除酸型化學(xué)過濾器
本產(chǎn)品結(jié)構(gòu)為板式折疊型過濾器,濾料選用進(jìn)口浸漬活性炭,對(duì)酸性氣體:如硫化氫(H2S)、硫及氮的氧化物(SO X、N O X)、氯氣(C l2)、氟化氫(H F)等有高效去除能力。
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除有機(jī)型化學(xué)過濾器
本產(chǎn)品結(jié)構(gòu)為板式折疊型過濾器,濾料選用進(jìn)口活性炭,對(duì)揮發(fā)性有機(jī)化合物TVOC:苯、甲苯、對(duì)二甲苯、間二甲苯、鄰二甲苯、苯乙烯、乙苯、乙酸丁酯)溶劑性氣體異味等有高效吸附能力。
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除堿型化學(xué)過濾器
本產(chǎn)品結(jié)構(gòu)為板式折疊型過濾器,濾料選用離子樹脂,對(duì)堿性氣體:NH3(氨氣)、PH3(磷化氫)、N2H4(聯(lián)氨)等有高效去除能力。
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