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功能性緩沖包材 化學(xué)過濾器
化學(xué)過濾器作為具有高生產(chǎn)環(huán)境要求的潔凈室工程的重要組成部分,主要用于吸附、過濾空氣中的氣態(tài)分子級(jí)污染物(Airborne Molecular Contamination)。目前主要應(yīng)用于泛半導(dǎo)體行業(yè)的空氣凈化系統(tǒng)中,包括集成電路、AMOLED顯示面板的潔凈車間以及半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝設(shè)備內(nèi)的空氣凈化等場景。